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FORCE 原力精密儀器

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PSS直徑光學量測
 

精準且快速之PSS直徑檢測設備！

 
                                 
 
 

◆  快速取得PSS結構之寬度數據。

◆  數據正確可靠，與SEM之數據一致

◆  自動對焦與自動計算直徑，避免人為誤差。

◆  同時適用於光阻片（ADI）與PSS成品片(AEI)。

◆  單片放置或使用機械手臂取放片，避免人為污染。

◆  適合產線量產使用，可真正達到片片全檢之量測。

◆   近期已開發出 4"   /   6"  機種，詳細規格請來電詢問。


 

 
 
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